Litografija – tai būdas perkelti suprojektuotą raštą tiesiai arba per tarpinę terpę ant lygaus paviršiaus, išskyrus paviršiaus sritis, kurioms raštas nereikalingas. Kaukių litografijoje piešiniai spausdinami ant pagrindo ir eksponuojami alazeriskad nusodinta medžiaga būtų išgraviruota ir paruošta tolesniam apdorojimui. Šis litografijos metodas plačiai naudojamas masinėje puslaidininkinių plokštelių gamyboje. Galimybę projektuoti ryškius mažų elementų vaizdus ant plokštelės riboja naudojamos šviesos bangos ilgis. Pažangiausi litografijos įrankiai šiandien naudoja giliąją ultravioletinę šviesą (DUV), o ateityje šie bangų ilgiai ir toliau apims gilųjį ultravioletinį (193 nm), vakuuminį ultravioletinį (157 nm ir 122 nm) ir ekstremalųjį ultravioletinį (47 nm ir 13 nm). ). Sudėtingi produktai ir dažni dizaino pakeitimai IC, MEMS ir biomedicinos rinkose, kur auga įvairių funkcijų ir substratų dydžių paklausa, padidino šių labai individualizuotų sprendimų gamybos sąnaudas ir sumažino gamybos apimtis. Tradiciniai kaukių (kaukių) litografijos sprendimai nėra ekonomiški ar praktiški daugeliui šių programų, kai sąnaudos ir laikas, reikalingas daugybei kaukių rinkinių sukurti ir pagaminti, gali greitai padidėti. Tačiau litografijos be kaukės taikymui netrukdo būtinybė naudoti itin trumpus UV bangos ilgius, o naudotilazerisšaltiniai mėlyname ir UV diapazone. Litografijoje be kaukiųlazeristiesiogiai sukuria mikro/nano struktūras šviesai jautrių medžiagų paviršiuje. Šis universalus litografijos metodas nepriklauso nuo kaukių eksploatacinių medžiagų, todėl maketą galima pakeisti greitai. Dėl to greitas prototipų kūrimas ir kūrimas tampa lengvesni, suteikiant didesnį dizaino lankstumą, išlaikant didelio ploto aprėpties pranašumus (pvz., 300 mm puslaidininkinių plokštelių, plokščių ekranų arba PCBS). Kad atitiktų greitos gamybos reikalavimus,lazeriaiLitografijai be kaukės naudojamos savybės yra panašios į tas, kurios naudojamos kaukėms: Nepertraukiamos bangos šviesos šaltinis turi ilgalaikį galios ir bangos ilgio stabilumą, siaurą linijos plotį ir nedidelį kaukės pasikeitimą. Ilgalaikis stabilumas su mažai priežiūros ar gamybos ciklų pertraukimu yra svarbus abiem atvejais. DPSS lazeris turi itin stabilų siaurą linijos plotį, bangos ilgio stabilumą ir galios stabilumą, tinka dviem litografijos būdams. Projektuojame ir gaminame didelės galios vieno dažnio lazerius, pasižyminčius neprilygstamu bangos ilgio stabilumu, siauru linijos pločiu ir nedideliu plotu ilgo sauso ilgio bangos ilgio diapazone, todėl jie idealiai tinka integruoti į esamas sistemas.
Autoriaus teisės @ 2020 „Shenzhen Box Optronics Technology Co., Ltd.“ – Kinijos šviesolaidiniai moduliai, šviesolaidinių lazerių gamintojai, lazerių komponentų tiekėjai. Visos teisės saugomos.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies.
Privacy Policy
