Pagrindinė jutiklių klasifikacija:
Pagal paskirtį
Slėgiui ir jėgai jautrūs jutikliai, padėties jutikliai, lygio jutikliai, energijos jutikliai, greičio jutikliai, akselerometrai, radiacijos jutikliai, šilumos jutikliai.
Pagal principą
Vibracijos jutiklis, drėgmės jutiklis, magnetinis jutiklis, dujų jutiklis, vakuuminis jutiklis, biosensorius ir kt.
Paspauskite išvesties signalą
Analoginis jutiklis: paverčia išmatuotą neelektrinį dydį į analoginį elektrinį signalą.
Skaitmeninis jutiklis: paverčia išmatuotus neelektrinius dydžius į skaitmeninius išvesties signalus (tiek tiesioginius, tiek netiesioginius).
Skaitmeninis jutiklis: paverčia išmatuotą semaforą dažnio signalo arba trumpojo ciklo signalo išvestimi (įskaitant tiesioginį arba netiesioginį konvertavimą).
Jungiklio jutiklis: kai išmatuotas signalas pasiekia tam tikrą slenkstį, jutiklis atitinkamai išveda nustatytą žemą arba aukštą signalą.
Pagal gamybos procesą
Integruoti jutikliai gaminami naudojant standartinę proceso technologiją, skirtą puslaidininkinių integrinių grandynų gamybai silicio pagrindu.
Dalis grandinės, naudojamos iš pradžių apdoroti bandomąjį signalą, taip pat paprastai yra integruota į tą patį lustą.
Plonos plėvelės jutiklį sudaro atitinkamos jautrios medžiagos plėvelė, nusodinta ant dielektrinio pagrindo (substrato). Kai naudojamas maišymo procesas, dalis grandinės taip pat gali būti pagaminta ant šio pagrindo.
Storosios plėvelės jutiklis gaminamas padengiant atitinkamos medžiagos srutą ant keraminio pagrindo, kuris dažniausiai gaminamas iš Al2O3, o po to termiškai apdorojamas, kad susidarytų stora plėvelė.
Keraminiai jutikliai gaminami naudojant standartinius keraminius procesus arba kai kuriuos jų variantus (zolį, gelį ir kt.).
Atlikus atitinkamą parengiamąją operaciją, suformuotas komponentas sukepinamas aukštoje temperatūroje. Yra daug bendrų charakteristikų tarp dviejų storosios plėvelės ir keraminių jutiklių procesų. Kai kuriais atžvilgiais storosios plėvelės procesas gali būti laikomas keramikos proceso variantu.
Kiekviena proceso technologija turi savo privalumų ir trūkumų. Keraminiai ir storos plėvelės jutikliai yra labiau pagrįsti dėl
